徐

徐军

主要机构物理学院
关系数0

学术谱系

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代表作 6 项

  1. 基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置
    第十八届全国等离子体科学技术会议 2022 年
  2. 基片温度对SiNx薄膜结晶状态及机械性能的影响
    物理学报 2022 年
  3. 射频反应磁控溅射制备AlN多晶薄膜及其择优取向研究
    真空科学与技术学报 2022 年
  4. 射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜
    第八届全国真空冶金与表面工程学术会议 2022 年
  5. 射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜(英文)
    第八届真空冶金与表面工程学术会议 2022 年
  6. 微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究
    物理学报 2022 年